Léasair a chur i bhfeidhm i iarphróiseáil sciath pláta bipolar

PEMFCpláta déphobailI measc na n -ábhar go príomha tá trí chatagóir: ábhair ghraifítí, ábhair ilchodacha agus ábhair mhiotail.Plátaí bipolar graifíteTá seoltacht mhaith agat agus tá siad éasca a phróiseáil, ach tá an t -ábhar sobhriste, tá droch -airíonna meicniúla agus éifeachtúlacht próiseála íseal aige, rud a chiallaíonn go bhfuil sé deacair olltáirgeadh tráchtála a bhaint amach.

Ilchodachplátaí bipolardéanta as púdar carbóin agus roisín mar na príomhábhair agus ullmhaítear iad trí mhúnlú agus trí mhodhanna eile. Tá siad íseal i gcostas, ach tá fadhbanna fós ag plátaí ilchodacha bipolar, mar shampla seoltacht agus tréscaoilteacht gháis.

Tá neart ard agus seoltacht leictreach agus teirmeach ag plátaí bipolar miotail. Is féidir iad a tháirgeadh trí mhodhanna olltáirgeachta ar nós stampáil agus rolladh leatháin miotail. Aithnítear iad mar an chéad rogha chun cealla breosla a thráchtálú.

I dtéarmaíplátaí bipolar miotail, ós rud é go bhfeidhmíonn cealla breosla i dtimpeallacht aigéadach, mar aon le dálaí leictreacha agus teirmeacha,plátaí bipolar cille breoslabeidh sé ag tuar i dtréimhse an -ghearr. Dá bhrí sin, is réiteach indéanta é sciath a ullmhú ar dhromchla an phláta bipolar.

Anpláta bipolar cille breoslaTaisctear an sciath ag baint úsáide as teicneolaíocht tógála maighnéada, lena n -áirítear ciseal trasdula agus sciath feidhmiúil dromchla go ginearálta. Is iondúil go mbíonn nanacháithníní ag sputtering magnetron ó dheich nanaiméadar go ceann nó dhó nanaiméadar. Is feiniméan uathúil é seo de sputtering maighnéada.

Tar éis na cáithníní sciath a chur suas, cruthaítear bearnaí éagsúla. I dtimpeallacht ard, ard -aigéad agus timpeallacht reatha ard ancill bhreosla. Is é seo an phríomhfhoirm teip ar an sciath fhoshraith dhúbailte.

Meicníocht theip

Criostail columnar i sil -leagan gaile fisiciúil

Teip scamhadh sciath

Teicneolaíocht nua le haghaidh cóireáil teasa ar dhromchla na n -ábhar miotail ag baint úsáide as an éifeacht theirmeach a ghineann ardfhuinneamh an bhíoma léasair. Is é próiseas oibre na teicneolaíochta seo ná: is féidir le hionradaíocht dhromchla na coda le léasair é a théamh go dtí an teocht athraithe chéim chriticiúil. Tar éis an léas léasair a bhaint, fuaraíonn agus múchadh an dromchla go tapa é féin.

Tá torthaí suntasacha bainte amach aige seo maidir le friotaíocht an chaitheamh, friotaíocht creimthe, friotaíocht tuirse agus friotaíocht tionchair an dromchla miotail a fheabhsú. Is iad na buntáistí a bhaineann le cóireáil léasair ná go bhfuil sé saor ó thruailliú agus go mbaineann sé le cóireáil dromchla áitiúil, le brú íseal agus dífhoirmiúchán beag, mar sin tá ionchais leathana feidhmithe aige.

Teicneolaíocht Cóireála Teasa Léasair

Nuair a bhíonn an dlús cumhachta léasair íseal (<10^4W/cm^2) agus nuair a bhíonn an t -am ionradaíochta gearr, ní féidir leis an bhfuinneamh léasair a ghlacann an miotal ach teocht an ábhair a ardú ón dromchla go dtí an taobh istigh, ach ní choinnítear an chéim sholadach gan athrú. Úsáidtear é den chuid is mó le haghaidh páirt a ghlacadh agus athrú céimnithe a athrú, uirlisí, giaranna agus imthacaí den chuid is mó; Leis an méadú ar dhlús cumhachta léasair (10^4 ~ 10^6w/cm2) agus síneadh an ama ionradaíochta, leánn dromchla an ábhair de réir a chéile, agus leis an méadú ar fhuinneamh ionchuir, bogann an comhéadan céim leacht-soladach de réir a chéile go dtí an chuid dhomhain den ábhar. Úsáidtear an próiseas fisiciúil seo go príomha le haghaidh cuimhní cinn, cóimhiotalú, cumhdach agus táthú seoltachta teirmeach miotail.

Méadaigh an dlús cumhachta a thuilleadh (> 10^6w/cm^2) agus leathnaigh an t -am gníomhaíochta léasair. Ní hamháin go leánn an dromchla ábhair, ach déanann sé vaporizes freisin. Bailíonn an gaile in aice le dromchla an ábhair agus na n -ianúcháin lag chun plasma a dhéanamh. Cuidíonn an plasma rathúil seo leis an ábhar an léasar a ionsú. Faoin mbrú a bhaineann le leathnú vaporization, déanann an dromchla leachtach dífhoirmiú chun claiseanna a dhéanamh. Úsáidtear an chéim seo le haghaidh táthú léasair, go ginearálta i micrea-phointí laistigh de 0.5mm.

Strus comhbhrúite le linn sil -leagan gaile fisiciúil

Nuair a úsáidtear an léasar chun an dromchla cruach dhosmálta a ionradaíocht, déantar an sciath a théamh go stát leáite ag an ardteocht a ghineann an léasair láithreach, agus ansin fuaraíodh é go tapa. Tar éis leá, laghdaítear na bearnaí idir na cáithníní, agus cruthaíonn siad struchtúr cosúil le tuaslagán soladach, ar féidir leo ian hidrigine agus ian fluairín a chosc ó threá isteach sa tsubstráit.

Ar an dara dul síos, tar éis cóireála leáite ardteochta, is féidir leis an sciath tuaslagán soladach a chruthú leis an tsubstráit, ag feabhsú an neart nasctha idir an sciath agus an tsubstráit. Go háirithe le haghaidh foshraitheanna cruach dhosmálta, is fadhb shuntasach í an neart nasctha idir an tsubstráit agus an sciath. Is féidir le cóireáil léasair feabhas a chur ar neart nasctha an sciath go héifeachtach.

Ar an tríú dul síos, is féidir le hionradaíocht léasair an strus comhbhrúite a fhoirmítear taobh istigh den sciath a laghdú le linn sputtering maighnéada. Trí chóireáil teasa ardteochta, is féidir an strus taobh istigh den sciath a scaoileadh agus is féidir saol an sciath a fheabhsú.

Ar an gceathrú dul síos, is féidir le cóireáil teasa ionradaíochta léasair éifeacht cosúil le múchadh a chruthú ar an bpláta bipolar. Tá feabhas a chur ar neart an phláta bipolar tar éis é a fhoirmiú tairbheach chun neart an phláta bipolar a fheabhsú, go háirithe nuair a bhíonn foshraith phláta bipolar na cille breosla ag éirí níos tanaí amach anseo. Soláthraíonn sé coinníollacha áisiúla chun foshraitheanna 0.075mm nó fiú 0.05mm a úsáid.

Bearna na gcáithníní brataithe a fheabhsú trí chóireáil teasa léasair

Cóireáil léasair arpláta déphobailTá buntáistí soiléire ag an gclúdach. Is fadhb innealtóireachta í an chaoi le luas na cóireála léasair a mhéadú a chaithfear a réiteach. Tá go leor annplátaí bipolaragus limistéar mór. Is é próiseáil tapa, ar chostas íseal agus ardcháilíochta an bunús le haghaidh cur i bhfeidhm ar scála mór san innealtóireacht. Creidim go bhfeicfimid níos mó cásanna iarratais léasair i gcóireáil sciath sa todhchaí.